Grundlegende Einführung in das Ultra-Vakuum-Schieberventil

Ein Ultrahochvakuum-Absperrschieber ist ein Ventil, das im Ultrahochvakuum eingesetzt wird. Seine Hauptfunktion besteht darin, den Gas- oder Flüssigkeitsstrom zu steuern, um den Zweck des Verbindens oder Absperrens zu erreichen. Es hat die Vorteile einer einfachen Struktur, einer guten Abdichtung und einer einfachen Bedienung. Daher ist es in der Halbleiterindustrie, der Optoelektronik, der Luft- und Raumfahrt, der Wehrtechnik und anderen Bereichen weit verbreitet.

1. Grundstruktur

Die Hauptstruktur des Ultrahochvakuumschiebers besteht aus dem Ventilkörper, der Schieberplatte, der Dichtung, dem Antriebsmechanismus und anderen Teilen, wobei der Ventilkörper aus zwei Flanschen und dem mittleren Ventilkörper besteht. Die Einsatzplatte steuert seinen Schaltzustand durch den Antriebsmechanismus, und die Dichtung wird verwendet, um die Dichtungsleistung des Ventils zu gewährleisten.

2. Arbeitsweise

Das Funktionsprinzip des Ultrahochvakuum-Steckventils besteht darin, den Gas- oder Flüssigkeitsdurchfluss durch den Schaltzustand der Steckplatte zu steuern: Wenn die Steckplatte geschlossen ist, ist das Ventil in einem geschlossenen Zustand und Gas oder Flüssigkeit können nicht durch das Ventil fließen; wenn die Steckplatte geöffnet ist, ist das Ventil in einem offenen Zustand und Gas oder Flüssigkeit können durch das Ventil fließen.

3. Anwendungsbereiche

In der Halbleiterherstellung werden Ultrahochvakuumventile zur Steuerung des Gasflusses verwendet, um die Reinheit des Halbleiterherstellungsprozesses zu gewährleisten; in der Optoelektronik werden Ultrahochvakuumventile zur Steuerung der Position und Richtung optischer Komponenten verwendet, um die optische Genauigkeit der Komponenten zu gewährleisten; in der Luft- und Raumfahrt werden Ultrahochvakuumventile zur Steuerung der Lage und Position des Raumfahrzeugs verwendet, um die Stabilität des Raumfahrzeugs zu gewährleisten.

4. Gemeinsame Vorteile

Die Vorteile des Ultrahochvakuum-Absperrschiebers liegen in der einfachen Struktur, der guten Abdichtung und der einfachen Bedienung; seine Abdichtungsleistung erfüllt die Anforderungen der Ultrahochvakuum-Umgebung und kann den Gas- oder Flüssigkeitsdurchfluss effektiv steuern; außerdem kann der Antriebsmechanismus des Ultrahochvakuum-Absperrschiebers je nach Bedarf ausgewählt werden, und es können verschiedene Antriebsarten wie manuell, elektrisch und pneumatisch realisiert werden.

5. Entwicklungstendenzen

Mit der kontinuierlichen Entwicklung von Wissenschaft und Technik erweitern sich auch die Anwendungsbereiche von Ultrahochvakuum-Absperrschiebern ständig: In Zukunft werden Ultrahochvakuum-Absperrschieber intelligenter und automatisierter sein und eine Fernsteuerung und -überwachung ermöglichen, und auch die Werkstoffe von Ultrahochvakuum-Absperrschiebern werden vielfältiger und können sich an komplexere Arbeitsumgebungen anpassen.